台积电智慧节能控制系统年省电 1,340 万度，创 8,500 万元节能效益

晶圆代工龙头台积电在 ESG 电子报上表示，因为致力实践绿色製造，持续以创新技术追求能源与资源最佳使用效率，继引领业界开发世界级半导体绿色机台，更在不影响生产机台效能的前提下，携手应用材料公司与附属设备供应商针对非生产区 （Sub-fab） 的附属设备打造 "iSystem 物联网智慧节能控制系统"，并已导入晶圆十五 B 厂 80 种製程、588 台生产机台所属的 2,351 台真空帮浦、805 台现址式尾气处理系统，达成年度省电 1,340 万度、减少 13,800 公吨碳排放量，成功创造新台币 8,500 万元的节能效益。

台积电指出，半导体晶圆製造过程中会使用不同的製程气体，一般位于非生产区的附属设备皆以固定全载方式运转，为提高能源使用效率。民国 105 年，台积电携手供应商开发及导入"iSystem 物联网智慧节能控制系统"，将其做为生产机台与附属设备之间的对接桥樑，根据半导体设备通讯标準读取生产机台的 ECID/SVID，获得製程气体实际使用状态，再依照附属设备运转稳定性与去除效率验证所定义的控制参数，即时对附属设备下达对应的指令，使其可依生产机台使用的製程气体，同步自动调变运转参数与能耗以达成节能效果。

除了节能模式，台积电与供应商依照半导体协会标準，进一步开发附属设备的睡眠模式 （Sleep Mode） 与休息模式 （Rest Mode），当生产机台于较长时间未运转时，可节省更多能耗。此外，台积电并持续依据去除效率验证结果，优化附属设备运转控制层级及其参数，以提升能源使用效率，并降低氮氧化物 （NOx） 产生，达到节能与环保的双重效益。

而为更系统化落实节能行动并确保成效，民国 109 年，台积电将 "ISO 50001 （Energy Management System, EnMS） 能源管理系统" 导入 iSystem。根据 iSystem 收集附属设备的能耗资料，建立能源绩效指标 （EnPI） 与能源基线 （EnB），自动计算节能量。同时与内部资讯技术单位合作，开发建置 iSystem 异常管理系统与节能报表系统，以利更精準掌握能源使用量，并进一步计画将能耗资料储存于云端，透过 AI 与机器学习技术自动侦测、即时通报能源使用异常状况，亦可藉由大数据分析获得最佳的运转操作参数，极大化能源使用效率。

为更扩大节能效益与使用範围，台积电亦寻求与其他半导体设备供应商合作，所有製程及生产机台的附属设备皆计画导入智慧节能机制，目前除了晶圆十五 B 厂持续进行应用开发与建置外，晶圆十八厂亦于民国 110 年开始导入，并将逐步推展至台湾厂区所有 12 吋晶圆厂，预计未来每年可省电 8,200 万度、减少 84,600 公吨碳排放量，创造新台币 5 亿 2,000 万元的节能效益，持续朝碳中和与净零碳排放的永续目标迈进。

（首图来源：官网）