ASML 将赴南韩打造 EUV 设备再製厂！预计 2025 年落成

荷兰半导体设备业龙头艾司摩尔（ASML Holding NV）生产的极紫外光（EUV）微影设备，对于晶圆代工大厂的先进製程至关重要。南韩政府宣布，ASML 计画赴南韩打造 EUV 再製（remanufacturing）厂及训练中心。

BusinessKorea、韩国经济日报14日报导，南韩产业通商资源部（The Ministry of Trade, Industry and Energy，MOTIE）13日宣布，ASML未来4年将在南韩投资2,400亿韩圜（2.1亿美元），于京畿道华城市打造EUV微影设备聚落，当中包括一座再製厂房、一家训练中心。

ASML是全球唯一EUV微影设备供应商，是5奈米先进製程的关键设备。MOTIE及京畿道政府将针对ASML的授权、扩张当地业务事宜提供协助。上述设施预计2025年底前落成，未来将在南韩聘用超过300名专才。

ASML位于南韩的再製造中心（re-manufacturing center）主要业务包括系统零部件翻修和EUV collector清洗。

ASML一年只能生产30台EUV微影设备。据闻，台积电已取得50台EUV设备，三星仅10台。

半导体蚀刻机台製造商科林研发公司（Lam Research Corp.）也将扩大投资南韩。报导引述业界消息指出，科林已将南韩的生产目标提高一倍，正在寻找地点建立新厂以便扩充产能。

韩媒etnews 4月12日引述业界消息报导，想要打造半导体生产线，一定要设法取得前端製程的关键设备。应材、科林、东京威力科创（TEL）及ASML是全球前四大半导体设备业者，合併市佔高达60-70%。问题是，半导体设备厂每年只能生产一定数量的机台，交货时程早已非常紧凑。