台积电导入低耗能管路加热系统，估年省 8,000 万度电

台积电将低耗能管路加热系统导入先进製程，成功使机台加热管减少约 25% 能耗，预计民国 114 年将导入台湾全数 12 吋晶圆厂区，估计每年可省 8,000 万度电。

台积电表示，供应晶圆生产机台的气体管路，以往为避免管线内部形成结晶、造成堵塞，必须在机台运作期间，对管路外部的加热设备不断供电以维持管路表面高温，确保管线通畅。

传统套件仅着重于管线的加热功能，而忽略表面材质的保温表现，导致热能易失而造成电力浪费。台积电节能团队与供应商合作，运用以往主要应用于建筑物隔热的气凝胶材质，取代玻璃纤维做为供气管路外层，成功开发低耗能管路加热系统。

台积电今年 3 月将低耗能管路加热系统在晶圆 15 厂第 7 期试用，有效降低管路表面温度，减少 25% 能耗，厂务处新厂设计部并将系统列为新建厂区的标準设施，将于 110 年导入晶圆 18B 厂 3 奈米及 2 奈米製程。

台积电规划既有的国内 12 吋晶圆厂区将于 114 年前完成系统更新，估计届时每年将可减省 8,000 万度电。

针对挥发性有机气体削减，台积电携手供应商，採用沸石浓缩双转轮系统技术，将原经过第一道转轮吸附并燃烧后的高浓度製程废气，新增第二道转轮浓缩流程后再送回第一道转轮反覆处理，成功使挥发性有机气体削减率达 99.5%。

台积电将沸石浓缩双转轮系统列为未来新建厂区的标準设备，109 年已完成建置于晶圆 15B 厂、晶圆 18A 厂，预计 110 年第一季完成晶圆 18B 厂建置，逐步朝向智慧绿色生产环境目标迈进。

（作者：张建中；首图来源：科技新报）