ASML 访问三星！传三星盘算抢先台积电取得次代 EUV

三星电子副会长李在镕（Lee Jae-yong）今年 10 月出访欧洲、拜会艾司摩尔（ASML）执行长 Peter Wennink 等人后，传出 Wennink 也礼尚往来，于上週访问三星，希望能促成极紫外光（EUV）微影设备的合作案。

Business Korea 1 日报导，Wennink 等 ASML 高层上週访问了三星半导体厂，讨论 EUV 微影设备的供给与发展合作案。业界内部人士相信，三星要求 ASML 供应更多 EUV 微影设备，双方并讨论开发次代 EUV 设备的合作事宜。

身为全球唯一一家 EUV 设备製造商的 ASML，目前对台积电的供货量高于三星。三星希望跟 ASML 合组科技联盟，取得更多次世代 EUV 微影设备。ASML 也有跟三星投资合作的必要，因为次代 EUV 设备需要大量研发资金。

三星希望投资高数值孔径（high-numerical aperture，High-Na）EUV 设备的开发案，这种设备可改善半导体微製程所需的电路解析度，一台设备要价 5,000 亿韩圜，是目前款式的 2-3 倍。ASML 计划 2023 年年中推出设备原型，三星希望赶在台积电之前取得设备，争取技术领先。

不过，三星一名内部人士透露，双方并未在会议上达成投资决定。ASML 高层只是应李在镕 10 月份的邀请前来三星访问。ASML 高层也拜访 SK 海力士（SK Hynix）总裁李锡熙（Lee Seok-hee），消息显示他们讨论了要如何扩大供应 EUV 设备、促进合作。