台积电先进製程重要关键，ASML 解析 EUV 三大模组功能

为了支援台积电先进製程陆续开工与之后发展，全世界极紫外光曝光机（EUV）龙头艾司摩尔（ASML）在南科设置的 EUV 技术培训中心正式揭幕，让外界一窥每套价值 1.2 亿欧元的 EUV 究竟长什么样子。据 ASML 之前公布资料显示，一部长度超过 10 公尺、高度达 2 层楼的 EUV，每台有超过 10 万个零件，加上 3 千条电线、4 万个螺栓及 2 公里长的软管等零组件，最大重量达 180 公吨。整部曝光机是由"照明光学模组"（Illumination & Projection）、"光罩模组"（Reticle）及"晶圆模组"（Wafer）三大部分组成。