日出口管制近一年！韩企量产蚀刻气体，传供货 SK 海力士

日本对销往南韩的三种半导体原料，实施出口管制将近一年以来，南韩终于成功开发出本土产品。SK Materials 宣布，已经开始量产蚀刻气体（etching gas），减少对日本关键原料的依赖。

韩联社、Aju Business Daily 17 日报导，SK 集团旗下的 SK Materials，去年在南韩荣州市（Yeongju）兴建年产量 15 吨的蚀刻气体工厂，17 日宣布开始量产高纯度蚀刻气体──氟化氢（hydrogen fluoride），这是生产晶圆的重要原料，可以洗掉製程时晶圆片上堆积的异物。

SK Materials 可能会供货记忆体大厂 SK 海力士，不过 SK Materials 不愿评论。2019 年 7 月，日本加强对三项原料的出口管制，分别是氟聚醯亚胺、光阻剂、蚀刻气体（高纯度氟化氢），都是生产半导体和可挠式面板的关键原料。不只如此，日本还把南韩踢出贸易优惠待遇国的名单之外。日韩交恶，南韩业者全力启动相关原料本土化生产。

蚀刻气体之外，SK Materials 还打算兴建氟化氩光阻剂（ArF photoresist）工厂，预定 2021 年完工、2022 年起每年产量达 5 万加侖。另外，SKC 準备要生产高阶光罩基板（mask blanks），也是半导体的重要原料。